Alicat艾里卡特MCE系列真空質量流量控制器特點：

l 插入式兼容性。外形包括焊接 1/4 英寸 VCR 配件，并與 SEMI 標準 MFC 的 124 毫米端到端長度相匹配。

l 多功能且準確。對 98 多種氣體和 20 種自定義混合物進行實時控制，精度可達 NIST 可追溯的讀數的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%。

l 輕松集成。定制過程端口和電氣連接器，以及您選擇的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、PROFINET、Modbus（RTU 和 TCP/IP）或串行通信，以便輕松集成到您的工業過程中。

設備規格和定制選項：

快速規格：

MCE 系列性能（大多數產品）

l 可用滿量程范圍：0.5 SCCM 至 20 SLPM

l 穩態控制范圍：滿量程的0.01% – 100%

l 標準精度校準，NIST 可追溯：讀數的 ± 0.6% 或滿量程的 ±0.1%，以較大者為準

l 可選高精度校準，NIST 可追溯：讀數的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%，以較大者為準

l 重復性：±（讀數的0.1% + 滿量程的0.02%）

l 典型控制響應時間：快至 30 ms

l 預熱時間：<1秒

MCE 系列操作條件

l 兼容氣體：98 種以上預加載的可選氣體校準

l 工作溫度：–10°C 至 +60°C

l 滿量程工作壓力：160 PSIA

l 最大壓差：75 PSID

l 耐壓：175 PSIA

l 用戶可選擇的參考條件（默認）：25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)

Alicat艾里卡特MCE系列真空質量流量控制器設備范圍和完整規格：

器件定制范圍為 0.5 SCCM 滿量程 至20 SLPM 滿量程，可控范圍為滿量程的 0.01% 至 100%。

設備特點：

每臺設備均附帶

l 多變量過程測量：同時測量質量流量、體積流量、氣體壓力和氣體溫度。

l 用戶可更改測量單位：從我們廣泛的工程單位列表中更改壓力、流量或溫度的測量單位。

l 氣體選擇性：從我們的氣體列表中預裝的 98 多種 NIST 可追蹤氣體校準中選擇您的工藝氣體 。

l Gas Select Composer™：使用我們的Gas Select Composer ™固件定義最多 5 種成分氣體的 20 種自定義氣體混合物 。

l 帶集成觸摸板的單色背光 LCD： 使用背光顯示屏輕松讀取測量值，并通過用戶友好的集成觸摸板控制配置。

l 用戶可調節的設定點斜坡和限制：可配置的斜坡速率允許根據需要控制過程變量的快或慢，并且可配置的設定點限制可保護過程免受無意的設定點變化的影響。

l 用戶可調節標準溫度和壓力 (STP) 條件：快速更改參考條件，無需重新校準。

l 閥門關閉超控和閥門打開超控：利用警報快速排氣系統或根據需要停止所有流量。

購買時要求|自由的

l 可選的集成累加器和批量控制：每 1 毫秒累加一次質量流量，以便精確跟蹤一段時間內的總流量，并使用批量控制來分配精確的體積。

購買時要求|附加費用

l 可選的集成電位計控制：使用集成電位計，只需旋轉旋鈕即可調整設定值。

設備定制選項

構建和性能選項

l 通信協議：模擬、RS–232、RS–485、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus RTU 或 TCP/IP、PROFIBUS、PROFINET

l 顯示屏：單色或彩色背光；集成或面板安裝

l 過程連接：壓縮、VCR 或 VCO 接頭

l 接液材質：302、303、304、316L、430FR不銹鋼；FKM、氧化鋁陶瓷、黃銅、玻璃、金、熱固化環氧樹脂、熱固化硅橡膠、聚酰胺、硅

l 校準：高精度；自定義校準點

閥門選項和 PID 調節

您的質量流量控制器可以使用以下閥門選項之一進行定制，以確保在您預期的過程條件下獲得更佳性能。

l MCE：內置小型比例控制閥

定制 PID 閥門調節可確保您的特定過程條件發揮最大性能。

可選配件

配件|分開售賣

l 過程端口配件和過濾器

l 電源

l 通訊電纜及轉換電纜

l BB3 和 BB9 多點接線盒