Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復合真空計

萊寶TTR101N真空變送器是結合了皮拉尼原理與電容薄膜原理的新型復合真空規。它測量精度高，而且在10mbar到1500mbar的測量范圍之間，不受被測氣體的影響。

TTR101N 真空計含有兩個獨立的傳感器元件。其中，MEMS 傳感器元件基于熱傳導性的測量結果，它包含一個帶有熱電阻元件的硅芯片，其構成空腔的一個表面，芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面，由于傳感器的幾何形狀，空腔內無法進行對流，因此傳感器對安裝位置并不敏感，通過擴散，氣體分子只到達熱元件，在此處可測量氣體的熱損耗。另一個壓電傳感器則基于相對于集成式參考真空的硅膜機械偏轉測量結果，可獨立于氣體成分和濃度來測量真實的絕對壓力。

這兩個傳感器元件都極為堅固耐用，可承受較高重力和瞬間空氣涌入。

在一些嚴苛條件下，灰塵和其他顆粒物可能會加大測量誤差，縮短使用壽命，建議選用過濾器。

技術參數：

Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復合真空計

典型應用：

l 粗真空到高真空范圍的一般真空測量與控制

l 前級真空壓強測量

l 真空系統控制

l 進樣室

l 高真空電力真空規控制

選配件

灰塵和其他顆粒物可能會加大測量誤差，縮短使用壽命。因此本公司建議嚴苛條件下應選用過濾器。