PRECESS普瑞賽思高真空保護閘閥（V60系列）

V60高壓閘閥系列配備了VATLOCK技術，該技術是專門開發的，可在閘門密封處提供可靠的密封而不會產生任何摩擦。VATLOCK機構還可以防止閥門故障，這要歸功于關閉端位置的機械鎖定。

憑借其堅固的設計，V60系列滿足了可靠運行的高壓閘閥的所有要求。V60的設計可在大量工藝循環中可靠運行，為通用高壓閘閥樹立了標準。

該系列提供各種驅動和法蘭連接設計選項，因此可以輕松集成到任何高壓系統中。各種特殊選項，如窗口和端口，可確保與應用程序的優良匹配。

V60高壓閘閥可采用氣動驅動。閥門可由控制器控制，使閥門可在0.3秒或設定值內關閉。電磁閥的標準電壓為24V DC，但可根據要求提供其他電壓。閥門位置由一個雙位指示器指示——兩個開關分別用于“打開"和“關閉"位置——帶轉換觸點。

法蘭連接器的標準選項是ISO-F、CF-F、ASA-L和JIS。可以集成客戶定制的帶和不帶水冷的法蘭。

特征

l在干式泵發生故障時，保護工藝環境免受向下流動粉末的影響

l快速氣動打開和關閉小于0.3秒

l帶LCD顯示器的集成或獨立控制器

l機械鎖處于關閉位置

優點

lDN63-630，帶FKM O型圈閘門密封

l提供ISO-F CF-F ASA-LP JIS法蘭

應用

l半導體加工

l在要求苛刻的工藝中使用真空泵或腔室隔離

l蝕刻、CVD（MO、PE、HDP、LP）注入、濺射

l高顆粒物水平的納米技術工藝

l薄膜光伏板

PRECESS普瑞賽思高真空保護閘閥（V60系列）

技術參數