域勢科技電容金屬薄膜真空計（溫補型）

溫補型電容金屬薄膜真空計采用單側雙電極差分電容設計，暴露于工藝氣體的材料全部為Inconel/Incoloy合金，超高靈敏度的前端電路和*算法，保證在工作壓力下有很高的靈敏度和測量精度，響應迅速，性能穩定，抗腐蝕性強，獨特的溫度補償算法幫助產品快速穩定。提供1Torr至1000Torr滿刻度范圍，具有低成本、高性能的特點，適用于鍍膜行業、半導體和等離子應用等惡劣的生產加工環境，為其提供穩定的性能。

優點

1.溫度補償型金屬薄膜差分電容絕壓傳感器

l高度靈敏

l高精度和重復性

l長期穩定性高

l快速到達工作狀態

2.傳感器全部為堅固且耐腐蝕Inconel合金

l不依賴氣體，測量結果與氣體成分無關

l允許與腐蝕性或骯臟氣體一起使用

l真空計材料對過程無污染

3.輸出信號豐富

l易于集成，接口豐富，滿足各種系統集成需求

l獨立的Type C 診斷、調試、配置接口

4.壓力觸發輸出功能

l通過繼電器輸出壓力觸發信號

域勢科技電容金屬薄膜真空計（溫補型）

技術參數

杭州域勢科技有限公司專注于為工業及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關的技術服務及解決方案，公司代理經銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結合代理的產品為客戶提供優質的流量及壓力監控解決方案，旨在提高客戶的研發及生產效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創新進度。